Sub-Wavelength Features in Spectroscopic Mueller Matrix Ellipsometry
Kroker Stefanie, Wurm Matthias, Siefke Thomas, Käseberg Tim, Bodermann BerndGratings, Measurement Technology, Scatterometry
| Document type | Proceedings |
| Journal title / Source | Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik Proceedings 2019 |
| Volume | 120 |
| Publisher's name | Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V. (DGaO) |
| Publication date | 2019-9 |
| Conference name | 120. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik |
| Conference date | 11-06-2019 to 15-06-2019 |
| Conference place | Darmstadt |
| ISSN | 1614-8436 |
| Web URL | https://www.dgao-proceedings.de/download/120/120_p9.pdf |
| Language | English |
| Persistent Identifier |