Atomic force microscope with an adjustable probe direction and piezoresistive cantilevers operated in tapping-mode / Im Tapping-Modus betriebenes Rasterkraftmikroskop mit einstellbarer Antastrichtung und piezoresistiven Cantilevern
Korpelainen V., Schaude J., Albrecht J., Klöpzig U., Gröschl A.C., Hausotte TinoRasterkraftmikroskopie; piezoresistive Cantilever; Nanomessmaschine
| Document type | Article |
| Journal title / Source | tm - Technisches Messen |
| Volume | 86 |
| Issue | s1 |
| Page numbers / Article number | 12-16 |
| Publisher's name | Walter de Gruyter GmbH |
| Publication date | 2019-9 |
| ISSN | 2196-7113, 0171-8096 |
| DOI | 10.1515/teme-2019-0035 |
| Language | English |