Other Participants
Carl Zeiss SMT GmbH (Germany)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (France)
École Polytechnique (France)
Forschungsverbund Berlin e.V. (Germany)
Friedrich-Schiller-Universität Jena (Germany)
Interuniversitair Micro-Electronica centrum (Belgium)
JCMwave GmbH (Germany)
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen (Germany)
Technische Universität Berlin (Germany)
Technische Universiteit Delft (Netherlands)
Universität Linz (Austria)
Universiteit Twente (Netherlands)