Abbildende Müller-Matrix-Ellipsometrie für die Charakterisierung vereinzelter Nanostrukturen

Kroker S., Siefke T., Grundmann J., Käseberg T., Bodermann B.
Keywords:

Nanometrology, ellipsometry, Mueller ellipsometry,imaging ellipsometry, nanostructures

Document type Article
Journal title / Source tm - Technisches Messen
Volume 89
Issue 6
Page numbers / Article number 438-446
Publisher's name Walter de Gruyter GmbH
Publication date 2022-3
ISSN 2196-7113, 0171-8096
DOI 10.1515/teme-2021-0133
Language German

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