Abbildende Müller-Matrix-Ellipsometrie für die Charakterisierung vereinzelter Nanostrukturen
Kroker S., Siefke T., Grundmann J., Käseberg T., Bodermann B.Nanometrology, ellipsometry, Mueller ellipsometry,imaging ellipsometry, nanostructures
Document type | Article |
Journal title / Source | tm - Technisches Messen |
Volume | 89 |
Issue | 6 |
Page numbers / Article number | 438-446 |
Publisher's name | Walter de Gruyter GmbH |
Publication date | 2022-3 |
ISSN | 2196-7113, 0171-8096 |
DOI | 10.1515/teme-2021-0133 |
Language | German |